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  超大规模集成电路先进光刻理论与应用 人文●社科

  标签： 半导体  超大规模集成电路先进光刻理论与应用第九章  光刻  教材  集成电路  微电子所 
  韦亚一  / 科学出版社  / 2016-6-1  / 260元  / 558页
  
  光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺。在设备部分，对业界使用... >详细